【摘要】
在超薄金属材料、铜箔、不锈钢箔、钛合金箔、镍合金箔等材料加工工具领域，采用刀模切割或化学蚀刻法。
在超薄金属材料、铜箔、不锈钢箔、钛合金箔、镍合金箔等材料加工工具领域，采用刀模切割或化学蚀刻法。随着需求的不断增加，特别是在5G、航空航天、卫星等领域的高标准要求下，传统的工艺模式逐渐变得虚弱。举例来说，刀模切割会产生变形和毛刺残留，影响产品性能；化学蚀刻方式加工需要网版，特别是对于多规格的材料加工所需网版数量大，不利于各种产品的加工。此外，化学蚀刻对环境污染严重，尤其是在环保控制的压力下，越来越多的化学蚀刻加工厂被撤离，给加工企业带来了很多麻烦。以此为前提，激光切割超薄金属箔的工艺方法进入了相关领域，为该行业的发展提供了新的思路。
目前，超薄金属材料超过激光开发的皮秒紫外激光切割机应用于不锈钢箔、铜箔、镍合金箔、钛合金箔等材料的切割。与纳秒激光切割设备相比，皮秒激光切割机优势明显，无毛刺、变形、热影响低，碳化程度低于2微米。
皮秒激光切割机灵活性高，不仅可以切割超薄金属材料，还可以对多层材料的腐蚀或材料表面的微纳导流结构进行加工，如硅片、不锈钢光栅、陶瓷、薄膜材料、玻璃等。
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